应用背景

近几年，硅基光电子技术受到业界的广泛关注，可以在硅基上集成多个光器件，如波导、光栅、耦合器、MZ、光开关、调制器等，在成本、功耗、尺寸上具有明显优势。由于其制备工艺差异，需要对波导结构链路中的光器件进行插损、回损测量，以此评估是否符合设计要求。

系统概述

昊衡科技推出的商用OCI光频域反射监控系统（简称OCI），50m测量范围内空间分辨率高达10μm，可精准测量插损、回损，非常适用于硅光芯片/器件。

测量过程

在石英衬底上集成的平面光波导，接入OCI进行测量，如图1所示。测量结果如图2。

图1 平面波导光路图

图2中红、黄两游标为光纤与波导的耦合位置，两者间距为延时线，长度是2.30199m。延时线上散射光形成一段斜坡并呈现出规律的半圆形。斜坡下降的幅值为整个波导产生的插入损耗，为3.3dB/m。波谱中的半圆形是由螺旋型光路导致的，突起的损耗点为回波损耗，是由光路中心较大的弯曲造成的。

图2 测量结果

实现功能

OCI可精准测量硅光波导的长度、插损、回损等，且其测量结果有效地反映了硅光波导的特殊结构。