1、介绍
平面波导延时线具有尺寸小、易集成等优势，不仅可以通过精确调制波导长度控制延时时间，而且能容易地制备出超长的波导线，在硅光子集成芯片系统中有着重要的应用。OFDR测试仪器拥有高达10um的空间分辨率，可快速精准表征出硅光芯片内部情况，本文使用基于OFDR原理的高分辨率光学链路诊断仪（OCI）对平面光波导延迟线进行测量，以亚毫米级别的分辨率诊断其内部光路插损、回损、距离等信息。
2、平面波导测试
图1为在石英衬底上集成的平面波导延迟线内部光路示意图。
图1.平面波导延迟线内部光路示意图
图2为平面波导延迟线内部光路测试结果，通过图中回波损耗曲线峰值可以看出首尾耦合位置，两者之间长度为波导长度（3.073m），斜坡下降的幅值代表整个波导产生的损耗，约为3.3dB/m。平面波导的回波曲线呈周期性是由螺旋型光路导致，中间两个突起峰是由于光路中心有较大的弯曲损耗。
图2.平面波导延迟线内部光路测试结果
3、结论
平面波导延迟线的波导长度、波导损耗和耦合位置回损决定其品质好坏，OCI设备能够以亚毫米级别的分辨率扫描芯片光链路，得出各个点的回波损耗表征出整个光路信息，这些光学参数精准测试为硅光芯片科研人员提供解决思路。
